明睿陶瓷專業(yè)生產(chǎn)用于半導(dǎo)體設(shè)備上使用的陶瓷配件，例如陶瓷手臂，模塊等。主要材料包括95-99.9%氧化鋁，氧化鋯，以及氮化硅，碳化硅陶瓷。基本尺寸精度可以控制在0.005mm左右。

主要特點：

?致密質(zhì)，高硬度，高耐磨性

?良好的耐熱性能

?優(yōu)良的機械強度

?高溫環(huán)境仍具有良好的絕緣性

?良好的抗腐蝕性

應(yīng)用領(lǐng)域：

?耐磨耗襯板材料，

?半導(dǎo)體生產(chǎn)制造用備件，粉碎媒介

?耐熱部件

?化學(xué)實驗用各種備件

?化學(xué)品過濾器

?各種粉碎設(shè)備

?其它相關(guān)的半導(dǎo)體電子生產(chǎn)用備品備件